活动背景图
某超大型半导体行业营造行业是在长三边形区县,大部分工作晶圆和办理器。在工作过程中中,晶圆割孔和打磨步骤带来多磨研液废污水,单日总量下跌量约50吨。仍然废污水里面的含带高溶液浓度浮动物、合金阳离子及生物碳加剂,会总量下跌会对区域容易造成造成 严重污染,行业继续购买专用汽车开发专业的办理公用设施。
废污水营养成分及由来
碾磨液化工废水也包括来自于晶圆手工加工中的化学物质机械装备拋光(CMP)制作工艺,也包括感染物也包括:
浮动顆粒物
:二腐蚀硅、腐蚀铝等考虑粉末,粒级在0.1-1μm,溶度高达到2000mg/L。
材料铝离子
:铜、铁、锌等,来源于抛光剂垫损伤及晶圆表层轻金属层,铜阴离子有机废气浓度约50mg/L。
有机会增加剂
:分为外面生物剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
碱酸性物品
:pH值价格波动大,平常在2-11互相。
治疗生产技术工艺步骤
而对污水基本特性,所采用“预外理+生物化+厚度外理”乐队组合技术:
调控池
:均衡性水的质量水流量,增长酸碱度调控pH至普通。
混泥土发展
:加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),的还原自动隐藏物和氢氧化铁,沉降后SS的还原率>90%。
促使氧化物
:主要采用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料有机物更改剂,COD我们要除率达60%。
微生物进行处理
:MBR膜生物体响应器进1步分解超过可挥发物,COD下降100mg/L下例。
亚铁离子传递
:专门用环氧树脂过滤铜铝离子,出水出水铜纯度<0.5mg/L。
砂滤+活性酶炭过滤装置
:确保安全生产冒水清冽,完成《污水处理站终合废气排放的标准的》(GB8978-1996)3级的标准的。
既定疗效
系統加载安稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
造纸生产废水处理率达40%,超过标准尾气产生标准,年降低生产废水尾气产生标准1.10万吨。
处理成本低约15元/吨,远不低于业评均。