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半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例

内容蓝本 该行业为全.球专业的半导体行业首测行业,设在粤港澳大湾区形中北部,常见开展高端品牌鑫霖环保芯片的划区和装封测试测试。因本省坏保要严格规范,行业决定性使用废水净化处理方法零污染物过程。工程项目于202三年启用,202三年6月建于投运,净化处理的规模为200吨/日,总投资加盟约2000万元左右。 污水含量及源 此项重要性小学划片生产废水兼具下特征: 高溶液浓度值氟化物,首要存在晶圆切开后的清洁繁琐流程,氟亚铁离子溶液浓度值高至150-200mg/L 有微米级硅粉颗粒状,粒度分布多在100-500nm两者之间 生物碳供电量较高,COD在500-800mg/L 富含少量巨资属如铅、镉等 电阻率高,一般 在2000-3000μS/cm 治疗工艺步骤步骤 为建立零直接排放目标值,工艺设汁设汁强调考量电镀废水分级获取和教育资源利用: 废渣归类提取设备 :将含氟废液与另外的废液合在一起回收 有机化学乳浊液除氟 :应用两极钙盐沉积出的法,协调更高效沉积出的池 高等级空气氧化操作 :什么是臭氧崔化氧化的生物降解难治疗生产物 膜提液整体 :采取DTRO碟管式反浸入,浓缩造成倍率为10倍 汽化晶粒 :MVR机戒空气降低再降低蒸馏器治理浓水 低温干燥机系统 :将沉淀盐粗糙后做工业化副食品外售 外理特效 体系工作数据资料屏幕上显示: 氟化物剔除率>99.9%,喷水氟正离子<1mg/L COD总祛除率>98%,水流COD<20mg/L 水资源保护英文利用率>95%,仅产生了少许晶体盐 一年可收旧高品级使用水约3万吨 晶体盐色度完成工业园级标准的,达到市场化合理利用 工作不禁做到了生活污水零废气排放,还在教育资源收购 制造了约80万元左右/年的木制托盘效率。

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