半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
内容蓝本
该行业为全.球专业的半导体行业首测行业,设在粤港澳大湾区形中北部,常见开展高端品牌鑫霖环保芯片的划区和装封测试测试。因本省坏保要严格规范,行业决定性使用废水净化处理方法零污染物过程。工程项目于202三年启用,202三年6月建于投运,净化处理的规模为200吨/日,总投资加盟约2000万元左右。
污水含量及源
此项重要性小学划片生产废水兼具下特征:
高溶液浓度值氟化物,首要存在晶圆切开后的清洁繁琐流程,氟亚铁离子溶液浓度值高至150-200mg/L
有微米级硅粉颗粒状,粒度分布多在100-500nm两者之间
生物碳供电量较高,COD在500-800mg/L
富含少量巨资属如铅、镉等
电阻率高,一般 在2000-3000μS/cm
治疗工艺步骤步骤
为建立零直接排放目标值,工艺设汁设汁强调考量电镀废水分级获取和教育资源利用:
废渣归类提取设备
:将含氟废液与另外的废液合在一起回收
有机化学乳浊液除氟
:应用两极钙盐沉积出的法,协调更高效沉积出的池
高等级空气氧化操作
:什么是臭氧崔化氧化的生物降解难治疗生产物
膜提液整体
:采取DTRO碟管式反浸入,浓缩造成倍率为10倍
汽化晶粒
:MVR机戒空气降低再降低蒸馏器治理浓水
低温干燥机系统
:将沉淀盐粗糙后做工业化副食品外售
外理特效
体系工作数据资料屏幕上显示:
氟化物剔除率>99.9%,喷水氟正离子<1mg/L
COD总祛除率>98%,水流COD<20mg/L
水资源保护英文利用率>95%,仅产生了少许晶体盐
一年可收旧高品级使用水约3万吨
晶体盐色度完成工业园级标准的,达到市场化合理利用
工作不禁做到了生活污水零废气排放,还在教育资源收购 制造了约80万元左右/年的木制托盘效率。