半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
投资项目时代背景
该光电器件中小企业靠近长江三角洲型地方,注意生產8英尺和12英尺晶圆,日废气进行排放废供水量约2000吨。伴随生產生产技术更复杂,废水内含带多种不同难降解塑料有机酸物和天价属化合物,过去的解决做法不可充分满足渐趋严厉的废气进行水质标准规定。
生活污水有效成分及特征
生活污水处理加工过程关键起缘于几个部分:晶圆割切工作生活污水处理加工过程饱含广泛硅粉和割切工作液残余物;化学反应机械厂打磨生活污水处理加工过程饱含橡胶胶体部分硅和研磨抛光顆粒;刻蚀洗生活污水处理加工过程饱含氟化物、铜正离子等天价属;光刻加工过程生活污水处理加工过程则饱含光阻剂等设计感染物。水体质量结构特征是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓度值高(200-400mg/L)、漂浮物多且饱含轻微天价属。
进行处理加工制作工艺 程序
利用"化学预进行操作+血生化进行操作+长度进行操作"的组合公式方法:
设定池均等化水质标准水流量
混泥土凝固清掉悬浮按钮物和悬浊液成分
检查是否奠定物法有能清理氟化物,污泥脱水钙盐行成氟化钙奠定物
水解反应酸性反应池加快废渣可什么是生化性
玩防氧化池分解有机酸污染破坏物
活性氧炭溶解塔完成深度1净化处理
膜分離平台为了确保有水出水质监测稳固
根据含铜污水单一设为亚铁离子更换设计,的回收利用有意义的金属件铜。
结果英文感觉
工程项目完工后使用比较稳定,水流COD<50mg/L,氟化物密度<5mg/L,铜铁离子密度<0.3mg/L,数据来统计指标均具有国家《电子器材工业品水的环境污染物质排出物规则》(GB 39731-2020)。今年可减掉COD排出物约300吨,氟化物排出物约50吨,回收处理铜金属材料约2吨,确保了的环境经济实惠发展与经济实惠经济实惠发展的互利互惠。