该晶圆产生厂设在豫东的地方,注意产量销售85英寸光电器件晶圆,每日污废水 排放物物量约800吨。在产量销售具体步骤中在使用大批量盐酸采取晶圆蚀刻,形成污废水 中氟化物酸度多达200-300mg/L,远超一个国家排放物物原则(10mg/L接下来)。
污水因素及特征
废水处理大部分来自五湖四海多个方式:
晶圆蚀刻道工序
:含高酸度氟化物(HF)、盐酸及少量出高价属
无机化学机械设备抛光剂(CMP)电镀废水
:含納米级硅顆粒、有机物络合剂
设备擦拭电镀废水
:含异丙醇、氯离子等生产物
正确处理工艺具体流程具体流程
分为"无机化学水解+混泥土水解+深度.油烟净化器"三級补救装置:
一层解决
:加药氯化钙和氢硫化钙,造成氟化钙凝固,氟化物剔除率达85%
特殊治理
:生成PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),的还原胶体溶液态破坏物
三级职业资格证书补救
:经由多媒质过滤装置器和可溶性炭离心分离,出液氟化物渗透压安全稳定在8mg/L左右
关键点环保设备包扩:pH半自动改善设计、斜管悠长岁月中池、板框设备(生活污水脱水处理)。
决定目的
产品启动六年监控大数据展现:
氟化物最低值溶液浓度:7.2mg/L(不低于政府标准单位)
COD去掉率:92%
废水含水分率:≤65%
年应用氟化钙副產品约150吨,改变网络资源化再生应用