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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆生孩子线一体化的超净水装置,每顿饭有含硅产业废水150吨。产业废水里面虽无巨资属,但硅水分含量高易积灰,且热敏电阻率需到达18MΩ·cm才可以产业废水解决。原本的解决生产工艺無法具备新废止的《电子设备产业水造成的挥发性有机物排出标准的》(GB39731-2020)尤为排出卫生防护距离。 生活污水材料亮点 通常污染问题物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、小粒硅(粒度分布0.1-1μm) 专项 耍求 :TOC<10μg/L,硼含锌量<5μg/L 生活饮用水性状 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物要素缜密 净化处理新工艺过程 不断创新分为"梯级膜隔离+电去铝离子"整合加工: 微滤预工作 :1μm瓷器膜屏蔽广告大颗粒物硅,通量能维持80LMH 正离子交互光敏树脂 :D201大孔树脂胶选购性吸附物硅酸分子式 下级RO软件系统 :首要段回收处理率60%,第十二段选择高脱硼膜元器件封装 EDI电去化合物 :电流量体积2A/m²,长期清理残存阴离子 红外光谱除臭 :254nm太阳光的紫外线,线用量40mJ/cm² 技术应用工作亮点 联合开发转用阻硅剂(设计胺类混合物),廷迟膜破坏过渡期3倍 EDI电源模块的创新流道设置,硅的还原率提拔至99.8% 网上硅数据检测仪(预估位置0.1-500μg/L)建立靶向把控 运动工作成效 经最后方监测: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降为0.3μg/L 系统二手回产出率从原40%升降至68% 膜换个周期时间延时至5年,年运转费用减小35%

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