天津某半导体器件加工芯片生产厂，晶圆鑫霖环保步骤中存在含硅、氟的特殊化废液，设汁加工整体规模1200吨/日。废液含量错综复杂，内含微米级硅颗粒状及氢氧化钠，过去的加工措施没办法及格。 污废水 组分及來源 其主要空气工业废气 ：溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来源于制作工艺 ：晶圆刻蚀废渣（45%）、CMP有机化学机械厂增加光泽废渣（40%）、设施设备清洗阴道水（15%） 解决工序施工顺序 创新技術选用"药剂学沉垫+特种车膜提取"技術路经： 钙盐沉淀物 ：添加氯化钙剔除氟铁离子（制成CaF2析出） 水解酸化池影响 ：混合斜管沉淀池剂实现目标橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜挪用微细颗粒状 反固化体统 ：脱盐率>98%，收售率75% 汽化凝结 ：浓水段确保氟化物零尾气排放标准 不可能使用效果 氟化物氧化还原电位：<8mg/L（压低一个国家3级标准规范10mg/L） 硅含锌量：<5mg/L 水信息中水回用率：70%采用冷却后塔保湿补水 危废处理减轻药量：蒸馏食物残渣量较传统文化艺下降60%