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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

大型项目经验 该半导行业属于长三边形地段,重点工作85屏幕尺寸和125屏幕尺寸晶圆,日进行排放出废用水量约2000吨。会因为半导工作工艺设计麻烦,工业废水解决基本成分多变且含有很多难生物降解杂质,行业固有解决场地设施就没有办法做到空前严苛的优质进行排放出标准规定,故投资的2亿元刚刚建立职业 工业废水解决解决站。 废水处理方法材料及特征 该中小企业废渣其主要可分成4类: 含氟废液:起来自于晶圆蚀刻、清晰工作,氟化合物质量浓度独角兽高达2000mg/L; 充分化工废水:是来自于光刻、定影等生产技术,富含异丙醇、甲苯等充分容剂,COD值在5000mg/L以上; 酸碱平衡焦化废水:有于的洗涤和的表面解决各个环节,pH值震荡大; 含铜废污水:源自真空镀膜和复合精细化工艺,铜化合物溶度约150mg/L。 补救工艺步奏步奏 针对于其他物理性质的生产废水,进行"划分类别收录+分质外理+下端进一步外理"的组和生产工艺: 含氟污水处置线: 两极药剂学结晶:先加药氯化钙调结pH至6-7,再加上入PAC和PAM二沉池结晶; 生物钝化铝树脂吸附:提高认识氟正离子氨水浓度降落到8mg/L下列。 有机化学生产废水清理线: 微电解设备现象:铁碳填充料床预治理不断提高生活污水可生物化性; UASB生物滤池响应器:HRT=24h,COD剔除率65%; MBR膜生物学现象器:选取PVDF双层人造纤维膜,水流COD<50mg/L。 耐酸碱废气中合体系: 半自动pH调节器:用在线播放监控仪管控加酸加碱量; 斜管水解池水解:快速清理采和生产的漂浮物。 含铜污水补救: 催化奠定:添加NaOH控制pH至9-10,演变成氢防氧化铜奠定; 亚铁亚铁离子对换:确认铜亚铁亚铁离子氧化还原电位<0.3mg/L。 进一步清理单元尺寸: 老化光氧催化的氧化的:进几步挥发难转换充分物; 吸附性炭吸附:除掉亮度和轻微环境破坏物; UV线消毒液:确认溢水微生态学目标未达标。 结果是作用 活动正常行驶后,溢水水的质量平衡高达《电子技术化学工业水影响物的污染物》(GB 39731-2020)有点的污染物标准值耍求,在这其中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。每季度可少氟化物的污染物约120吨,COD的污染物约400吨,收购 中国水资源英文约10万吨。程序会机械化状态高,正常行驶投入掌握在8.5元/吨水控制。

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